關(guān)于SD型和SN型

SN型已被長(zhǎng)期使用我們曝光設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛使用，保證了工藝管理的連續(xù)性。
SD 型用于已經(jīng)使用其他公司制造的照度計(jì)的客戶在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程（本公司制造的曝光設(shè)備）現(xiàn)場(chǎng)重視確保與那些測(cè)量?jī)x器的數(shù)據(jù)兼容性。 SD型用于投影式曝光設(shè)備和液晶基板周邊曝光設(shè)備），推薦給使用全新照度計(jì)的客戶。

關(guān)于SD型和SN型指示值

SN型在與SD型的指示值相同的測(cè)量條件下測(cè)量我們測(cè)量組中用作校準(zhǔn)輻射源的高壓UV燈365nm的照度線，以確保舊過程數(shù)據(jù)的兼容性　。進(jìn)行調(diào)整，使其顯示比顯示時(shí)顯示的照度值高 39%：mW/cm

關(guān)于與其他公司生產(chǎn)的照度計(jì)和光度計(jì)的數(shù)據(jù)兼容性

與用于可見光的照度計(jì)和光度計(jì)（以LUX為單位測(cè)量家庭、辦公室、商店、博物館等的亮度的照度計(jì)和光度計(jì)）不同，它適用于所有用于紫外線的照度計(jì)和光度計(jì)。尚未設(shè)（似乎正在為少數(shù)有限用途進(jìn)行 JIS 轉(zhuǎn)換工作）。
每個(gè)公司的相對(duì)光譜靈敏度從測(cè)量的峰值波長(zhǎng)（相對(duì)光譜靈敏度特性用 1 表示的波長(zhǎng)）開始，即使它是為了測(cè)量主要由發(fā)射線組成的光源的照度而制作的365nm 短波長(zhǎng)側(cè)（300nm～310nm左右）和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（380nm～400nm左右）的上升、下降波長(zhǎng)及其前后的曲線略有不同。
此外，雖然在設(shè)計(jì)方面正在努力使被稱為COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲線，但現(xiàn)實(shí)是它尚未實(shí)現(xiàn)。